Seri A MICRO XRF dirancang untuk pengukuran presisi fitur X-ray terkecil dalam semikonduktor dan mikroelektronik. Sistem ini mendukung PCB besar dan wafer dengan ukuran apa pun, dengan sinar X FWHM 7,5 μm—yang terkecil di dunia untuk XRF. Sistem dual-kamera dengan perbesaran 140X menyediakan pencitraan detail, sementara panggung X-Y yang dapat diprogram bergerak hingga 600 mm dengan akurasi ±1 μm. Pengenalan pola, fokus otomatis, dan pemetaan 3D mengoptimalkan akurasi pengukuran.
Seri W Micro XRF dari Bowman memiliki sinar X dengan FWHM 7,5 µm, yang merupakan yang terkecil di dunia untuk analisis ketebalan pelapisan menggunakan teknologi XRF. Ini menjadikannya ideal untuk mengukur komponen kecil seperti BGA dan tonjolan solder. Alat ini mencakup sistem dual-kamera dengan perbesaran 140X untuk pencitraan presisi dan kamera sekunder untuk tampilan langsung. Panggung X-Y yang dapat diprogram dengan akurasi ±1 µm, bersama dengan pengenalan pola dan fokus otomatis, memungkinkan pengukuran yang tepat dan analisis multi-titik otomatis. Sistem ini juga menawarkan pemetaan 3D untuk visualisasi topografi pelapisan. Konfigurasi standar mencakup tabung anoda molibdenum (dengan opsi kromium atau tungsten) dan Detektor Drift Silicon resolusi tinggi. Instrumen ini dapat mengukur hingga lima lapisan pelapisan secara bersamaan dan beroperasi dengan perangkat lunak Archer, yang menyederhanakan pengukuran, pelaporan, dan pengaturan aplikasi.
Seri B adalah sistem pengukuran XRF dasar dengan desain dari atas ke bawah untuk operasi yang mudah. Alat ini memiliki panggung sampel tetap, yang mengharuskan pengguna untuk secara manual menyelaraskan posisi pengujian menggunakan pencitraan video. Ruang sampel mirip dengan Seri P tetapi tanpa panggung X-Y yang dapat diprogram. Sistem ini mencakup kolimator tetap, kamera dengan fokus tetap, detektor SDD, dan tabung X-ray mikro-fokus yang tahan lama. Yang menarik, Seri B dapat ditingkatkan dengan kolimator tambahan atau kamera dengan fokus variabel untuk meningkatkan fleksibilitas analitis.
Seri G XRF adalah pilihan ideal untuk laboratorium dan jalur produksi, terutama bagi pengguna dengan ruang kerja terbatas, keterbatasan anggaran, atau preferensi untuk operasi "dari bawah ke atas" dengan kontrol sumbu Z yang termotorisasi. Dirancang untuk menganalisis sampel kecil dengan cepat dan mudah, sistem ini menawarkan fleksibilitas dan kinerja tinggi dalam inspeksi dan evaluasi material.
Seri K adalah sistem XRF presisi tinggi yang dirancang untuk analisis sampel yang beragam, dilengkapi dengan area pengukuran besar 12″ x 12″, panggung X-Y yang dapat diprogram, dan auto multi-kolimator untuk ukuran titik yang fleksibel. Kameranya dengan fokus variabel (0,25″ hingga 3,5″) dan navigasi tampilan meja memungkinkan pengukuran yang mudah. Untuk fitur ultra-kecil, versi optik poli-kapiler menawarkan resolusi 15µm, panggung presisi tinggi (2µm), dan kamera dengan pembesaran 140x serta zoom digital. Dilengkapi dengan detektor SDD dan tabung X-ray tahan lama, sistem ini menjamin akurasi dan kepatuhan dengan ASTM B568, ISO 3497, dan IPC-4552.
Seri Bowman L adalah instrumen XRF serbaguna dengan ruang sampel besar (22″ x 24″ x 13″) dan perjalanan panggung X-Y 10″ x 10″. Alat ini dapat menampung bagian besar atau beberapa sampel sekaligus dan mencakup rakitan kolimator 4 posisi, kamera dengan fokus variabel, dan panggung X-Y yang dapat diprogram. Tinggi Z ruang adalah 10″ (atau 13″ tanpa panggung). Dilengkapi dengan detektor SDD dan tabung X-ray mikro-fokus tahan lama.
Seri M memberikan pengukuran ketebalan pelapisan berkinerja tinggi untuk fitur terkecil, menggunakan optik poli-kapiler canggih yang memfokuskan sinar x-ray hingga 7,5μm FWHM. Ini dilengkapi dengan kamera pembesaran tinggi 140x dengan zoom digital yang ditingkatkan, disandingkan dengan kamera makro sekunder untuk navigasi yang mudah. Panggung X-Y yang dapat diprogram dengan presisi tinggi memungkinkan pengukuran multi-titik, dengan pengenalan pola otomatis dan pemetaan 2D untuk analisis topografi permukaan. Konfigurasi standar menampilkan optik 15μm, detektor LSDD resolusi tinggi, dan panggung X-Y yang dapat diprogram. Karena jarak fokusnya yang dekat, sampel harus rata.
Seri O menggabungkan kinerja tinggi dan ukuran titik x-ray ultra-kecil (80μm FWHM) menggunakan optik poli-kapiler, yang memaksimalkan aliran x-ray untuk sensitivitas yang lebih tinggi dan pengujian yang lebih cepat pada komponen kecil atau pelapis tipis. Tidak seperti kolimator tradisional, sistem ini mempertahankan hampir 100% aliran tabung, memastikan pengulangan yang lebih baik dalam waktu pengujian yang lebih singkat. Ini dilengkapi dengan detektor SDD resolusi tinggi, pembesaran video 55x, zoom digital 7x, dan panggung X-Y yang dapat diprogram. Karena jarak fokusnya yang dekat, sampel harus rata. Sekarang tersedia dengan opsi panggung yang diperpanjang untuk fleksibilitas yang lebih besar.