KDSD-170
THERMAL EVAPORATOR TIPE PINTU GESER DENGAN DUA RUANG (DUAL CHAMBER)
Kiyon menawarkan sistem yang dirancang khusus dan dapat diintegrasikan dengan glovebox melalui desain internal mereka sendiri.
Komposisi Dasar
Karakteristik
- Ukuran ruang standar: 450 (L) x 450 (D) x 355/550 (T) mm
- Sumber: maks. 170 x 170 mm
- Kapasitas vakum: 5,0 x 10⁻⁷ Torr
- Tekanan kerja ruang: di bawah 5,0 x 10⁻⁶ Torr dalam 30 menit
- Keseragaman ketebalan film: <±3% dalam area kaca 156 mm x 156 mm
- Proses sumber logam & organik
Desain
- Tipe pintu geser memungkinkan proses masuk/keluar sampel yang mudah dan aman
- Pintu belakang terpisah untuk pembersihan dan perawatan yang mudah
Konfigurasi
- Kontrol otomatis melalui panel sentuh 10,5” (Pompa otomatis, Ventilasi otomatis, dan Penutupan sistem otomatis)
- Mendukung ko-deposisi
- Opsi rotasi sampel / pemanasan atau pendinginan
