KDT-100
THERMAL EVAPORATOR TIPE MEJA (DESK TOP TYPE)
Kiyon menghadirkan sistem yang dirancang khusus (tailor-made) dan terintegrasi dengan sistem glovebox melalui desain internal milik Kiyon sendiri.
Komposisi Dasar
Karakteristik
- Kapasitas Vakum: 5,0 x 10⁻⁷ Torr
- Tekanan Kerja di Ruang: Di bawah 5,0 x 10⁻⁶ Torr dalam waktu 30 menit
- Keseragaman Ketebalan Film: <±3% dalam area kaca 156 mm x 156 mm
- Ruang Loadlock untuk Memasukkan/Mengeluarkan Sampel (tanpa merusak kondisi vakum di ruang utama)
- Ruang Utama dirancang untuk menjaga efisiensi waktu pemompaan vakum tinggi
Desain
- Tipe pintu geser memungkinkan proses masuk/keluar sampel yang mudah dan aman
- Pintu belakang terpisah untuk pembersihan dan perawatan yang mudah
Konfigurasi
- Kontrol otomatis melalui panel sentuh 10,5” (otomatis pemompaan, ventilasi, dan shutdown sistem)
- Mendukung co-deposition (pengendapan ganda)
- Opsi rotasi, pemanasan, atau pendinginan sampel